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了解一下單晶爐熱場(chǎng)結構
上傳作者:2020-06-02 04-35-00 更新時(shí)間:handler

在太陽(yáng)能光伏行業(yè),的好壞直接關(guān)系到單晶硅的質(zhì)量,合格的熱場(chǎng)能夠生長(cháng)出高質(zhì)量的單晶,因此創(chuàng )造良好的熱場(chǎng)條件,在直拉單晶工藝上有非常重要的因素。石墨是單晶生長(cháng)的載體,石墨在直拉單晶生長(cháng)爐中以高純石墨和等靜壓石墨加工件為主。

根據實(shí)際情況的需要,熱場(chǎng)的大小根據石英坩堝的直徑大小來(lái)劃分的,目前我國熱場(chǎng)從φ12"~φ28"都有,一般情況下φ18"~φ22"居多。

我們在這里所講的單晶爐的熱系統就是所謂的熱場(chǎng),熱場(chǎng)一般包括壓環(huán)、保溫蓋、上中下保溫罩、(三瓣式)石墨坩堝、坩堝托桿、坩堝托盤(pán)、電極、加熱器、導流筒、石墨螺栓,未來(lái)防止漏硅,爐底、金屬電極、托桿都設置了保護板和保護套。

1、加熱器

加熱器是熱場(chǎng)中很重要的部件,是直接發(fā)熱體,溫度較高的時(shí)候可以達到1600度以上。常見(jiàn)的加熱器有三種形狀,筒狀、杯狀、螺旋狀。一般情況下,加熱器采用的高純石墨加工。

2、石墨電極

石墨電極的作用平穩固定加熱器并通過(guò)他歲加熱器輸送電流。因此在電極要厚重,結實(shí)耐用、表面要光滑平穩,保證良好的接觸面,通電時(shí)不打火,石墨電極也是有高純石墨加工的。

3、石墨坩堝、石墨托桿、石墨托盤(pán)

坩堝托桿、坩堝和托盤(pán)共同構成了石墨坩堝的支撐體,要求和下軸結合牢固,對中性良好在下軸進(jìn)行轉動(dòng)時(shí),托桿及托盤(pán)的擺渡小于等于0.5mm石墨支撐體的高度是可以調節的。

4、保溫罩

保溫罩分為上、中、下保溫罩,保溫罩是由一個(gè)保溫筒外面包裹石墨碳氈而成,石墨碳氈的包裹的層數根據情況而定。下保溫罩組成了底部的保溫系統,它作用是加強鍋底保溫,提高堝底溫度,減少熱量損失。

5、保溫蓋、導流筒

保溫蓋有保溫上蓋、保溫碳氈和保溫下蓋組成,即兩層環(huán)狀石墨之間夾一層石墨碳氈組成。導流筒主要是未來(lái)控制熱場(chǎng)的溫度梯度和引導氬氣流。

6、壓環(huán)

石墨壓環(huán)由幾截弧形構成的圓形環(huán)狀石墨件,放置在蓋板與爐壁接觸處,是為了防止熱量和氣體從壁爐與蓋板的縫隙間的通過(guò)。

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